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新能源电池连接片的划痕处理介绍

编辑:宜兴市轩盛金属科技有限公司时间:2018-12-10

       如何处理新能源电池连接片氧化铝钝化层中的划痕?在电池连接器背面沉积钝化层的过程中,氧化铝钝化层受到划痕损伤,对提高电池连接器的转换效率具有负面影响。分析了产生划痕的主要因素,并通过实验验证了该方法的有效性。经过比较,提出了解决划痕问题的有效方法。

       在电池连接片背面沉积钝化层是单晶PERC生产线上的一个过程,即在电池背面钝化发射极接触,在电池背面用氧化铝形成钝化层,并用SINXHY膜进行氢钝化作用。硅片的有效载流子寿命可从10-20微秒提高到100-200微秒,这可大大改善电池连接。连接器的内部量子效率可以提高单晶电池连接器的转换效率。在电池连接器的生产过程中,存在容易划伤氧化铝钝化层的因素。如图1所示,很难保证电池连接器的质量,因此迫切需要解决划痕问题。

       在氧化铝钝化层中存在两种主要的擦伤因素。首先,背面钝化层沉积过程中产生的划痕:吸盘从钝化层沉积过程中吸收硅片并将其放置在传输带上,这将在吸盘吸收过程中造成划痕;通过传动机构传递到花篮上,与花篮托架摩擦产生划痕;在传动过程中,硅片会产生划痕。为卡片、碎片等产生划痕。其次,在后续工艺中,自动化设备在氧化铝钝化层上造成划痕。本文从第二方面分析了氧化铝钝化层产生划痕的几个因素,并通过实验找出了具体的解决办法。后钝化层沉积工艺是等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺。PECVD工艺中使用的自动化设备是全自动石墨船加料器和卸料器。本设备已在电池连接器生产线上稳定生产。该机器人驱动真空吸盘一次抓取多个硅片,将PECVD处理后的涂膜放入冲裁转印篮中,转印到100个空花篮中,用于后道丝网印刷。将蚀刻后的硅片转移到进给传送篮中,由机器人抓取并放入石墨舟中进行PECVD。

        在设备运行过程中,引起氧化铝钝化层划伤的主要因素如下:

(1)在硅片的传输过程中,氧化铝钝化层由于与皮带的接触、摩擦和相对运动而划伤;

(2)机器人真空吸盘一致性差,当硅片太靠近船体叶片而导致划伤和腐烂。

(3)在将晶片插入到石墨舟中的过程中,硅片旋转。转弯比较后落入关键点的轨迹设化设备制造商。为了解决这种尴尬局面,我们通过反复试验、跟踪试验和比较找到了具体的解决方案。